真空の定義※本資料は個人の学習用として制作されたものであって、内容の信憑性については保証しません。ニュートン（N):１ｋｇの質量に１秒間で秒速１ｍの変化を生ずる力を１ニュートンとする。たとえば１ｋｇのものは地球上で９．８N パスカル（Pa):１平方メートルあたり１ニュートンの圧力で１パスカル 大気圧は水銀柱を７６０ｍｍ持ち上げることができる。（７６０ｍｍHｇ） 水銀の密度は１３．５ｇ／ｃｍであることから、１平方ｃｍの水銀柱の場合には、1026gの重量がかかっていることが分かる。 つまり、10.0548 ニュートンの力が1x10-4の面積の中にかかっていることになる。 つまり、100548 パスカルもの圧力が大気圧にはかかっている。 1/760気圧の場合には１３３Paと表記できるが、これを１torrとして表記する。
※真空度が１０倍高くなると、平均自由工程が１０倍増し、さらに不純物が１／１０に減る。 ※真空にすると残留する期待は、空気の成分と全く違う。油拡散ポンプで排気した場合には、水、水素、窒素、一酸化炭素、二酸化炭素、アルゴンなどが主成分。また、ポンプ油の分解生成物も現れます。 ※大気圧から１Paまでは「あらびきポンプ」、その後真空まで持っていくのに「本びきポンプ」を使う。 ※ヒーターを使って「焼きだし」を行うと、その後よりよい真空を得ることができる。蒸気圧の低い不純物を無理やり蒸発させるイメージ？ （蒸気圧：ある一定温度で、気相と液層（または固相）が平衡状態になるときの気相の圧力のこと。蒸気圧が高いほど蒸発しやすい物質） ・薄膜生成方法（真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタ、CVD）の違い ・薄膜の構造と性質について説明 ・蒸着法＆イオンプレーティング法の概要 ・スパッタ法（スパッタリング法）の概要 ・スパッタリングターゲットの基礎知識 ・気相成長法（CVD法)の概要 ・めっき法の概要 ・真空の定義 ・ホームへ |