有機ELディスプレイ(OLED)用パネル製造工程概要

※本資料は個人の学習用として制作されたものであって、内容の信憑性については保証しません。


下記のような流れになります。

1. 研磨ガラス
2. ITO成膜(スパッタ)
3. ITO研磨
4. 金属膜(補助電極)成膜(Crなど)
5. ITO電極形成
6. 絶縁膜形成
7. 陰極隔壁形成
8. 基盤前処理
9. ホール輸送層成膜
10. 発光層成膜
11. 電子輸送層成膜
12. 陰極形成(有機材料は露光できないため、真空蒸着により成膜する。仕事関数の小さいLi、Mgが使用される)
13.(密閉用缶→乾燥剤取付→封止材塗布)
14. 重ね合わせ
15. 封止材硬化
16. ガラスカット
17. ACF仮圧着TAB圧着
18. 偏光板貼りあわせ
19. 外周封止
20. 検査



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