液晶ディスプレイ(LCD)製造工程概要※本資料は個人の学習用として制作されたものであって、内容の信憑性については保証しません。おおよそ下記のような流れになります。 1.ガラス基板工程 ガラス基板の厚みが0.4~0.7mm。融解ガラス材料を融けたスズの上に流して行き、縦、横に引っ張りながら冷却していく「フロート法」が取られる。コーニングはガラス材料を縦に伸ばす「フュージョン法」を取っているが、平滑性は出しやすいものの、横方向の長さをどう出すかが課題。 2.アレイ形成工程(薄膜トランジスタを画素一つ一つに形成していく行程) 成膜: シリコン酸化膜(絶縁体)、シリコン窒化膜(絶縁体)、半導体膜(アモルファスシリコン膜)などは、CVD装置で成膜する。ゲート線、ソースドレイン線、画素電極などは、スパッタで成膜。 →洗浄 →レジスト塗布: レジストは(紫外線)感光性の高分子有機材料。スピンコーターという装置で塗布する。 →プリベーク: レジストを乾燥させる工程。 →露光: ショートアークランプなどで紫外線を照射する。 →現像: ディベロッパという装置で行う。写真原理そのもの。 →ポストベーク →エッチング: 減圧下でプラズマ放電によって反応させ、ガス状にしていくドライ方式が主流となっている。 →レジスト剥離: ストリッパという装置で不要なレジストを剥離する。 →検査 ※洗浄~検査の工程を4~5回繰り返す。 →アレイ基盤完成 3.カラーフィルタ製造工程 アレイ基盤+カラーフィルタ ※カラーフィルタの製造工程は下記EXを参照のこと。 4.セル組み立て工程 洗浄 →PI塗布/ベーク: PI=ポリイミド。カラーフィルタ基盤上に印刷する。 →配向処理 →洗浄 →スペーサ散布(片側): 2枚のガラス基盤の距離を均等に保つもので、プラスチックボールが用いられる。しかし、近年はアクリル樹脂をカラーフィルタ基板上にコーティング、露光で縦状の柱を形成する形が主流になっている。 →シール材散布(片側) →組み立て →液晶注入/封止 →変更板貼り →検査 →セル完成 5.モジュール組み立て工程 セル →TAB-IC・OLB(TAB=tape automated bonding) →PCB接続 →バックライト装置 →検査 →モジュール完成 EX.カラーフィルタ製造工程 A)クロム製膜 洗浄→クロム成膜(スパッタによる) ※最近、クロムに代わって黒色顔料を用いるケースが急増している。理由としては環境に配慮しているため(既に過半数がそうなっている)。 B)ブラックマトリクス工程 ポジレジスト塗布→プリベーク→(フォトマスク):石英ガラス製のものを使う→露光→現像→エッチング→レジスト剥離→ブラックマトリクス完成 C)カラーフィルタ工程 Redレジストコード→プリベーク→(フォトマスク)→露光→現像→ポストベーク→エッチング… ※BlueレジストコートもGreenレジストコートも上の工程を繰り返すような形。 D)オーバーコート行程 保護膜を形成する。 E)IT工程 スパッタで透明電極を形成する。
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